1um porozni titanijumski filter uložak za mokru obradu poluprovodnika

Porozni titanijumski filter uložak od 1um za mokru obradu poluprovodnika pruža apsolutno-ocijenjeno zadržavanje čestica u agresivnim hemijskim okruženjima gdje polimerne membrane bubre ili degradiraju. Proizveden od industrijskog praha titanijuma visoke - čistoće veće od ili jednakog 99,4% hladnim izostatičkim presovanjem i visoko{{5}temperaturnim vakuumskim sinterovanjem, ovaj filter od sinterovanog metalnog praha postiže ujednačenu mikroporoznu strukturu sa poroznošću u rasponu od 30-40% i uskom distribucijom veličine pora. U API farmaceutskoj proizvodnji dekarbonizirajuće filtracije, 1 μm sinterirani titanijumski štap filter hvata fine ostatke aktivnog uglja i sitne čestice katalizatora iz matičnih tečnosti visokog{11}}viskoziteta, sa mogućnošću ponovnog ispiranja koja produžava vijek trajanja nekoliko puta izvan membranskih alternativa. Proizvodnja poluprovodnika u vlažnom-procesu integriše filtere sinterovane u prahu titanijuma od 1um u linijama za isporuku hemikalija za SC-1, SC-2, 49% HF i HNO₃ tokove, pri čemu je titanijumska podloga otporna na ispadanje iz okruženja bogatog hloridom. Preciznost od 1um uklanja čestice koje sadrže submikroni silicijum i metalne zagađivače bez odvajanja čestica, održavajući čistoću filtrata potrebnu za nanometarsku obradu vafla.

U aplikacijama petlje za tretman vode visoke -obe čistoće koriste se porozni titanijumski filter uložak od 1um za vlažnu poluprovodničku obradu kao konačnu sigurnosnu filtraciju ispred ultrafiltracije i EDI sistema, gdje sinterirani element u prahu od titanijuma podnosi periodičnu sterilizaciju ozonom i paru-u-ciklusima od 0 stepeni u uslovima do 28 stepeni. Za razliku od polipropilenskih dubinskih filtera ili PTFE membranskih uložaka koji omekšavaju ili se raslojavaju pod termičkim ciklusom, vakuum-sinterovana titanijumska matrica zadržava dimenzijski integritet u rasponu pH 1-14 i podnosi diferencijalne pritiske do 5,0 bara bez kolapsa strukture pora. Petlje za poliranje CMP suspenzije u naprednim fabrikama koriste kertridže sa titanijumskim filterom od 1 μm nakon -stadijuma adsorpcije smole za hvatanje aglomeriranih abrazivnih čestica velikih dimenzija uz očuvanje projektovane raspodjele veličine čestica koloidnog silicijum dioksida ili cerije. Karakteristika ne-osipanja čestica i regeneracija na mreži putem povratnog ispiranja ili ultrazvučnog čišćenja omogućavaju ponovnu upotrebu, smanjujući učestalost zamjene filtera i operativne troškove u kontinuiranim poluprovodničkim mokrim radnim stolovima.

Ocjena precizne filtracije – Porozni titanijumski filter uložak od 1 um pruža apsolutno-ocijenjeno zadržavanje čestica u poluvodičkim vlažnim procesnim linijama, uklanjajući submikronske ostatke silicijuma, metalne zagađivače i čestice poput gela-iz agresivnih hemikalija uključujući HF, 2-SC i HF-2-SC, medije proboj.

Otpornost na koroziju u ekstremnim pH rasponima – Proizveden od titanijumskog praha većeg ili jednakog 99,4% visoke-čistoće vakuumskim sinteriranjem, ovaj uložak filtera od sinteriranog titanijuma izdržava pH 1-14 okruženja, otporan na pitting i napad klorida koji brzo degradira sisteme od nehrđajućeg čelika ili haha.

Visoka termička stabilnost za vruće DIW i SIP cikluse – Filter sinterovan u prahu od titanijuma izdržava kontinuirani rad na 280 stepeni u vlažnim uslovima, podržava sterilizaciju-na-m mestu (SIP) i ispiranje toplom dejonizovanom vodom bez omekšavanja, odvajanja ili ispiranja ekstrakata uobičajenih za polipropilenske membrane ili PTFE kola.

No particle shedding – Unlike depth filters or wound cartridges, the rigid sintered metal structure eliminates fiber release or media migration, maintaining ultrapure filtrate essential for nanometer-scale wafer fabrication where any foreign particle >0,5 μm uzrokuje fatalne kvarove uređaja.

Odlična regenerabilnost povratnog ispiranja – Porozni titanijumski filter uložak od 1 um podržava povratno ispiranje, ultrazvučno čišćenje i regeneraciju kiseline, uklanjanje zarobljenih čvrstih materija i vraćanje početnih brzina protoka tokom desetina ciklusa ponovne upotrebe, značajno smanjujući učestalost zamjene kertridža i operativne troškove u fabrikama velike količine-.

Visoka tolerancija diferencijalnog pritiska – Vakum-sinterovana titanijumska matrica održava integritet strukture pora pod diferencijalnim pritiscima do 5,0 bara, nadmašujući membranske filtere koji se kolapsiraju ili pucaju tokom naglih tokova ili začepljenja u opremi za mokro obradu poluprovodnika.

Linije za distribuciju hemikalija visoke-čistoće u fabrikama vafla – Instalirane u kućištima filtera na mestu{1}}-upotrebe (POU) za tokove 49% HF, HNO₃, NH₄OH, H₂SO₄ i HCl, 1um sinterovani titanijumski submikonski filter uložak i metalni uložak koji uklanjamo sa metalnih delova klupe i procesori sa jednim-vaferom.

Petlje za recirkulaciju ozonizirane dejonizirane vode (DIO₃) – Primjenjuju se kao sigurnosna filtracija u alatima za čišćenje nakon-CMP i fotootpornih alata. Kartridž od poroznog titanijuma od 1 um otporan je na koncentracije ozona do 20 ppm i kontinuirano izlaganje UV zračenju, pri čemu se polipropilenski filteri krte, a PTFE membrane gube mehanički integritet.

CMP slurry polishing loops – final polish and bulk removal – Positioned after slurry blending tanks and before dispense arms for colloidal silica, ceria, or alumina slurries. The sintered titanium filter traps over-sized agglomerates (>1um) uz očuvanje izvorne distribucije veličine čestica i zeta potencijala, održavanje dosljedne stope uklanjanja i unutar-neujednačenosti pločice- (WIWNU).

Filtracija vode nakon-CMP kutije za čišćenje četke – Instaliran je u vodove za dejoniziranu vodu koji napajaju PVA četke za ponovno hvatanje zaostalih abrazivnih čestica i jona bakra nakon poliranja pločice. Apsolutna ocjena od 1um sprječava mikroogrebotine na bakarnim i nisko-k dielektričnim površinama tokom kontakta četkom.

Završni sigurnosni filter petlje za poliranje ultra čiste vode (UPW) – Pozicioniran ispred ventila--upotrebe (POU) u stanicama za mokro nagrizanje i ispiranje. Uložak filtera za prah od titanijuma radi u vrućim UPW (80 stepeni) i periodičnim ciklusima sterilizacije parom bez odvajanja čestica, održavajući kontrolu bakterija i broj čestica ispod zahteva klase 1.

Bezelektrične kupke za prevlaku od nikla i kobalta za slojeve barijere/sjemenice – Integrisano u klizne kade za prečišćavanje za uklanjanje čestica kontaminacije iz stabilizatora i agenasa za stvaranje kompleksa. Titanijumska matrica otporna na koroziju- radi na povišenim temperaturama (70-90 stepeni) i alkalnom pH bez vodonične krtosti ili kontaminacije u kadi.

Tel: 0917-3873009

Telefon: +86 18992731201

Email:zhangjixia@bjygti.com

Fax: 0917-3873009

Adresa: No. 195, Gaoxin Avenue, High-tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Kina

Whatsapp: +86 18992731201

Popularni tagovi: 1um porozni titanijumski filter uložak za mokru obradu poluprovodnika, Kina, dobavljači, proizvođači, prilagođeni, upotreba, cjenik, na prodaju, na lageru, besplatni uzorak, porozni materijal